簡易檢索 / 檢索結果

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    以不同氮源先驅物氣相磊晶氮化鋁薄膜之研究
    • 化學工程系 /94/ 碩士
    • 研究生: 林松禾 指導教授: 洪儒生
    • 本篇論文乃以不同氮源先驅物為原料的冷壁式低壓化學氣相沈積法,探討在不同基材上異質成長氮化鋁薄膜的相關議題。首先,單一分子先驅物三乙基胺•鋁烷(TEAA)的長膜在500oC的高溫下,會成長出以碳化鋁(…
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